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什么是真空检漏及消除漏气的方法

任何一套真空系统都会存在或多或少的漏气现象,这跟用户的工艺环境是分不开的,越是高真空的环境下,漏气的趋势也是最大的,这种情况下,用户所要求的真空度达不到工艺上的要求,是个相当普遍的问题。对真空系统进行检查,找出漏气位置,确定漏孔大小,及时排除,这对真空技术人员是很重要的。

真空容器进行长时间抽气后仍然达不到要求的真空度,可能有以下几种原因:真空泵和真空机组工作不良、真空系统内材料放气、真空系统漏气、漏气和放气并存。检测上述问题的最简单最常用的方法就是静态升压法,不需采用额外的仪器或物质,就可以方便地检测出被抽容器和系统的总漏率,可以确定问题主要出在什么地方。静态升压法就是采用适当的真空计,每隔一定时间测量容器的压强可以得到压力-时间曲线。

实际真空肯定是会存在漏气的,但是真空室漏入气体总量要是不影响系统的正常工作的话,这种漏气是可以忽略的。真空系统在正常工作的情况下所允许存在的最大漏气率成为最大允许漏率。真空冶金过程中,真空泵要持续抽气用以维持系统的真空度,这种系统只要求其平衡时压力能够达到所要求的真空度,存在的漏率也是允许的。


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