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什么是真空泵的漏率

系指在规定条件下,一种特定气体通过漏孔的流量。

真空泵的漏率与极限压力有直接关系,在极限压力下运转的真空泵中,它的气体状态已接近分子流,气体的分子自由程较大,气体分子不易穿透转子与各相关零部件之间的间隙,也就是说此时间隙对极限压力的影响已极其微小,能影响极限压力的因素就只有漏率了。所谓真空泵达到了极限压力,就是渗漏进入真空泵的气体与真空泵抽出的气体达到了动态平衡,进入了相对稳定状态。

真空泵漏率的测试方法有关阀测漏法和氦质谱测漏法二种。


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