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电真空工艺对环境的要求

由于电真空结构材料除机械性能和加工性能外,还要满足其它性能的要求:容易除气、低的饱和蒸气压、一定的化学稳定性、一定的纯度和清洁度,要有合适的辐射能力、温度性质和光学性质等。所以电真空工艺具有特殊性,对清洁处理要求是严格的,应最大限度清除或减少零件的污染。

电子管的生产、管子的装架和零件处理必须在封闭良好的房间里进行。房间里的墙壁和天花板都用高质量的半光泽的韧性油漆涂覆。地面用干净且打上蜡的沥青合成物或磨砂瓷砖铺盖。空气必须经过两级或多级过滤。相对湿度保持在50%以下。

在进行精密装架的房间里,人员往来应尽可能少。零件和其它用品通过滑动橱门送人。精密装架的房间与空调的大房间隔开。里屋的空气要进一步过滤。除空调器和过滤器开口外,墙壁、地板、天花板以及门必须尽可能封闭严实。墙上灰泥、建筑板、木板以及水泥等建筑材料都均匀地涂上光泽的或半光泽的高级油漆。

对于有特殊要求的工作,要用干燥箱来防止用其它方法未能阻挡的沾污物(操作者的呼吸物、头皮等)。当需要时,如在处理待激活的阴极表面时,干燥箱也只能使用特定的惰性气体。

为适合集成电路工艺生产的需要,生产车间应达到相应的洁净室等级标准。


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