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抽气时间对于高真空系统的影响

设计高真空系统的基本考虑之一是将容器抽到给定压强所需的时间。这个时间范围通常是从几分钟到几个小时。然而,在某些情况下,所需的抽气时间可能是几秒钟或几天。用理论方法或试验方法来预计时间和压强的关系是非常困难的,因容器内表面的放气率(放气或虚漏)不能确定,而抽气时间和压强是与放气率有关的。

给定材料的放气取决于温度、表面光洁度、在此之前暴露于各种气氛的情况以及清洗方法。当放气显著时,即使近似估计排气时间都可能是非常困难的。设计者用适于较高压强下的关系式,可以预计从大气压到大约10-2Torr的压强-时间曲线。根据稳态(长时间)放气数据及抽气装置的特性,有时可预计最终(极限)压强。令人最感兴趣的区域是从10-2Torr到极限压强之间。


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