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真空泵简介

真空环境的获得需要使用各种各样的真空泵,它们是真空系统的主要组成部分.按其获得真空方法的原理不同,可以将真空泵分为两大类,即输运式真空泵和捕获式真空泵。输运式真空泵采用对气体进行压缩的方式将气体分子输送至真空系统之外:而捕获式真空泵则依靠在真空系统内凝集或吸附气体分子的方式将气体分子捕获,排除于真空系统之外.与输运式真空泵不同,某些捕获式真空泵在工作完毕以后还可能将己捕获的气体分子释放回真空系统。

输运式泵又可细分为机械式气体输运泵和气流式气体输运泵。旋转式机械真空泵、罗茨泵以及涡轮分子泵是机械式气体运输泵的典型例子,而油扩散泵则属于气流式气体运输泵。捕获式真空泵包括低温吸附泵、溅射离子泵等。


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